化学品供应系统

化学品供应系统

化学品供应系统主要有三大化学系统：化学研磨液系统，有机溶剂系统，酸碱系统。根据客户工艺流量需求和化学品种类的不同，化学品供应包装主要有 200L Drum，1000L Tote，以及Lorry Tank，供应方式采用泵抽或者氮压方式，化学品供应柜通过连接管道供应化学品至SUB-FAB，对应的三通箱T-BOX，分流箱VMB再输送到对应的工艺机台。

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