SOLUTIONS
大宗气体输送解决方案
大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成，其中供气系统又可细分为气源、纯化和品质监测等几个部分。
通常在设计中将气源设置在独立于生产厂房（FAB）之外的气体站（GasYard），而气体的纯化则往往在生产厂房内专门 的纯化间（Purifier Room）中进行，这样可以使高纯气体的管线尽可能的短，既保证了气体品质，又保障了成本控制。
大宗气体输配系统主要是指以大宗气站为供应气源，从大宗气站连接至洁净室、动力站、各支持区等用气区域的管道系统。整个系统以管道为主，在各用气区域预留阀门，并在管道设置流量计、压力传感器等监控系统的运行情况。
半导体生产工艺过程不仅对气体纯度要求十分严格，而且对气体中的颗粒含量也有极高的要求，目前在集成电路芯片生产中，对大宗气体颗粒度的要求通常为：大于 0.1μm 的颗粒含量为零。而去除颗粒则需采用气体过滤器。
