高端精密零部件定制

定制焊接管路 喷淋头 水冷盘 等离子体火炬头
非标定制件 定制焊接管路 喷淋头 水冷盘 等离子体火炬头(Torch)
工艺需求 加工/焊接/表面处理 加工/焊接/表面处理 机加/焊接/线割/表面处理 加工/焊接/表面处理
材质 不锈钢 不锈钢 铝/不锈钢 不锈钢/钨基合金/紫铜合金
产品简述 不锈钢具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、真空度处于0.1-10-5Pa之间，能够在-270—900℃工作等优点。由氩弧焊焊接焊缝美观、腔内内外400目抛光、腔体进行电解抛光。 喷淋头是干法蚀刻中的核心部件之一，用于均匀分布气体到表面。喷淋头由硅和碳化硅两种材料制成，主要应用于半导体制造行业。喷淋头的主要作用是避免气体直接冲入腔体，从而实现干法蚀刻功能。 采用精密机械加工工艺/钎焊焊机技术/精密清洗技术，水冷盘广泛用于蚀刻设备，外延生长/光刻/CMP/PVD/CVD等设备。 等离子体火炬是由阴极，阳极，N2和PCW组成，阴阳极间的N2被电离产生等离子体电弧产生高温离子体。具有低能量损耗，高效率；出色的PFCs气体处理效率；安全互锁；电极寿命长等优点。