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GR 气瓶架

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GR 气瓶架

应用领域:专为惰性气体供应而设计的供应系统

BSGS 大流量特气输送设备

BSGS 大流量特气输送设备

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BSGS 大流量特气输送设备

应用领域:大宗特殊气体输送系统,主要用于气源包装采用如 Y型钢瓶(450L)、T型钢瓶(980L)、集装格、ISO罐(22500L)、鱼雷车(13400L)等大宗特殊气体的输送

GC 特气柜

GC 特气柜

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GC 特气柜

应用领域:专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统

MIXER 混气设备

MIXER 混气设备

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MIXER 混气设备

应用领域:混气设备,将两种或多种气体通过MFC控制,浓度分析仪分析,混合成客户所需浓度的气体的混气,再安全稳定的输送到制程机台

LDS 液态源输送设备

LDS 液态源输送设备

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LDS 液态源输送设备

应用领域:半导体材料输送系统,主要通过载气,将液态源半导体材料高精度,安全,稳定的输送到制程设备

液态源蒸发柜

液态源蒸发柜

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液态源蒸发柜

应用领域:半导体材料输送系统,主要通过载气,同时采用油浴恒温装置加热罐体,将液态源半导体材料转化成气泡,高精度,安全,稳定的输送到制程设备

Bubbler 鼓泡柜

Bubbler 鼓泡柜

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Bubbler 鼓泡柜

应用领域:鼓泡柜通过氢气当载气,配置chiller,使液态的含硅化合物气化,为工艺主机台提供气态的含硅化合物

GAS BOX 多元气体盘面

GAS BOX 多元气体盘面

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GAS BOX 多元气体盘面

应用领域:一种用于半导体干法设备中的通用子系统,主要用于CVD/PECVD/MOCVD/ICP/ALD等设备上

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