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CDM 化学品供应柜
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应用领域:主要应用于各种电子化学品的输送,例如酸碱化学品,有机溶剂的输送。
VMB分配箱
应用领域:主要应用于各种电子化学品的输送,例如酸碱化学品,有机溶剂的分流。
CCB 充装柜
应用领域:常采用槽车来对化学品储槽进行充装。
显影液温控单元
应用领域:主要应用于光刻显影液中转区
化学品输送&供应单元
研磨液混合&供应单元
PLC控制箱
酸碱/有机VMB
产品用途:适用于酸碱类供液系统和有机试剂类供液系统;2分支(Sticks)~8分支工艺管线,根据用户要求特殊定制;依操作方式可分为三种控制方式:自动/手动;PP+PVC外壳+PFA管路;配备漏液报警Sensor、负压表等;主管带扩充阀/分支扩充阀,视需求可供未来扩充;VMB电控部分可与厂务中控系统衔接。
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