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显影液温控单元
应用领域：主要应用于光刻显影液中转区
关键词：显影液温控单元
所属分类：
应用领域：主要应用于光刻显影液中转区
工艺应用：显影液PID温控桶二次加压输送，带在线加热冷却功能。
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业。
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参数名称 |
详细规格 |
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设备类型： |
全自动冷热交换 |
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中转柜配置： |
气动泵阀丶200L换热桶带液位开关丶冷却盘管丶直线加热棒丶PT-100温感丶回流雾化喷嘴丶Chiller(冰水机） |
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管路尺寸： |
1/2”~1”(15~30LPM) |
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基础功能： |
自动循环与补液 在线加热冷却 PID温控 防氧化结晶设计 输送功能 |
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通用性选配功能： |
在线ICP-MS取样 200L桶电机搅拌及冲洗功能 |
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介质性选配功能： |
显影液丶Slurry及温度变化敏感类介质 |
- 产品描述
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应用领域：主要应用于光刻显影液中转区
工艺应用：显影液PID温控桶二次加压输送，带在线加热冷却功能。
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业。
参数名称
详细规格
设备类型：
全自动冷热交换
中转柜配置：
气动泵阀丶200L换热桶带液位开关丶冷却盘管丶直线加热棒丶PT-100温感丶回流雾化喷嘴丶Chiller(冰水机）
管路尺寸：
1/2”~1”(15~30LPM)
基础功能：
自动循环与补液 在线加热冷却 PID温控 防氧化结晶设计 输送功能
通用性选配功能：
在线ICP-MS取样 200L桶电机搅拌及冲洗功能
介质性选配功能：
显影液丶Slurry及温度变化敏感类介质
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