TMAH2.38稀释系统供应柜
所属分类:
1.1 产品概述
产品用途:适用于湿化学品介质稀释系统(TMAH2.38%),将原液25%原液稀释混配至2.38%一号标准液;PP+PVC外壳+PFA管路;完整的系统解决方案;集成PLC和模块化控制系统;原液Supply单元+Mix混合单元+稀释Supply单元。
产品功能和原理:全自动供酸;可根据客户需求提供额外配置;原液25%TMAH;左右桶自动切换;原液供应泵体一用一备;根据桶内液位高度实现自动切换供液操作;原液取样,稀释后取样;管道压力检测稀释罐一用一备,泵体两用一备;稀释后Preilter过滤供应,过滤精度0.05μm;简洁系统,并支持多种语言;触屏可显示各颗阀的工作状态及管路供液状态。
优点:系统各部分运行状态的预警及警报;多重安全性的自检与确认;自动切断供液;供液压力过高;紧急切断;支持多种信号输入;装备紧急按钮
产品应用:产品广泛应用于半导体芯片制造,平板显示行业,LED 行业,太阳能电池,电子元器件制造等行业,主要用于稀释输送有毒,腐蚀性强的湿化学品。
- 产品描述
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1.1 产品概述
产品用途:适用于湿化学品介质稀释系统(TMAH2.38%),将原液25%原液稀释混配至2.38%一号标准液;PP+PVC外壳+PFA管路;完整的系统解决方案;集成PLC和模块化控制系统;原液Supply单元+Mix混合单元+稀释Supply单元。
产品功能和原理:全自动供酸;可根据客户需求提供额外配置;原液25%TMAH;左右桶自动切换;原液供应泵体一用一备;根据桶内液位高度实现自动切换供液操作;原液取样,稀释后取样;管道压力检测稀释罐一用一备,泵体两用一备;稀释后Preilter过滤供应,过滤精度0.05μm;简洁系统,并支持多种语言;触屏可显示各颗阀的工作状态及管路供液状态。
优点:系统各部分运行状态的预警及警报;多重安全性的自检与确认;自动切断供液;供液压力过高;紧急切断;支持多种信号输入;装备紧急按钮
产品应用:产品广泛应用于半导体芯片制造,平板显示行业,LED 行业,太阳能电池,电子元器件制造等行业,主要用于稀释输送有毒,腐蚀性强的湿化学品。
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