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所属分类:
应用领域:专为惰性气体供应而设计的供应系统
工艺应用:惰性气体输送,气体压力调节,气体过滤。
客户类型:半导体芯片制造, 平板显示行业, 太阳能电池, 电子元器件制造等行业
参数名称
详细规格
供应类型:
单瓶,双瓶,三瓶
盘面尺寸:
1/4”,3/8”
供应能力:
0~30slpm(跟气体介质有关)
基础功能:
手动吹扫,手动抽真空,自动切换,自动关断,触摸屏操作
通用性选配功能:
扫描枪,一键强供,钢瓶自动关断
介质性选配功能:
电子称,钢瓶,盘面加热
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