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MIXER 混气设备
应用领域：混气设备，将两种或多种气体通过MFC控制，浓度分析仪分析，混合成客户所需浓度的气体的混气，再安全稳定的输送到制程机台
关键词：MIXER 混气设备
所属分类：
应用领域：混气设备，将两种或多种气体通过MFC控制，浓度分析仪分析，混合成客户所需浓度的气体的混气，再安全稳定的输送到制程机台
工艺应用：MFC控制流量，浓度分析仪分析浓度，缓冲罐储存，混气不间断输送
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业
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参数名称 |
详细规格 |
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混气类型： |
二元气体或者多元气体 |
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盘面尺寸： |
1/4”,1/2”，3/4” |
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供应能力： |
0~2000slpm(跟气体介质有关) |
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基础功能： |
自动吹扫，自动抽真空，MFC控制流量，自动关断，触摸屏操作 |
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通用性选配功能： |
浓度分析仪，缓冲罐数量 |
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介质性选配功能： |
缓冲罐加热，盘面加热 |
- 产品描述
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应用领域：混气设备，将两种或多种气体通过MFC控制，浓度分析仪分析，混合成客户所需浓度的气体的混气，再安全稳定的输送到制程机台
工艺应用：MFC控制流量，浓度分析仪分析浓度，缓冲罐储存，混气不间断输送
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业
参数名称
详细规格
混气类型：
二元气体或者多元气体
盘面尺寸：
1/4”,1/2”，3/4”
供应能力：
0~2000slpm(跟气体介质有关)
基础功能：
自动吹扫，自动抽真空，MFC控制流量，自动关断，触摸屏操作
通用性选配功能：
浓度分析仪，缓冲罐数量
介质性选配功能：
缓冲罐加热，盘面加热
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