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Slurry混酸系统供应柜
所属分类：
2.1 产品概述
产品用途：适用于湿化学品介质机械研磨CMP制程工艺供应设备；PP+PVC外壳+PFA管路；完整的系统解决方案;集成PLC和模块化控制系统；原液Supply单元+Mix混合单元；可根据用户要求特殊定制；搅拌前后取样
产品功能和原理：全自动供酸；可根据客户需求提供额外配置；原液Slurry空桶预报切换；原液供应泵体一用一备；管道压力检测搅拌罐一用一备，泵体一用一备；简洁系统，并支持多种语言；触屏可显示各颗阀的工作状态及管路供液状态；系统各部分运行状态的预警及警报；多重安全性的自检与确认；自动切断供液；供液压力过高，紧急切断；支持多种信号输入；装备紧急按钮。
优点：多级密码保护;持续监控多种重要数据;根据监控数据自动作出安全处理
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于湿化学品介质机械研磨CMP制程工艺供应。
- 产品描述
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2.1 产品概述
产品用途：适用于湿化学品介质机械研磨CMP制程工艺供应设备；PP+PVC外壳+PFA管路；完整的系统解决方案;集成PLC和模块化控制系统；原液Supply单元+Mix混合单元；可根据用户要求特殊定制；搅拌前后取样
产品功能和原理：全自动供酸；可根据客户需求提供额外配置；原液Slurry空桶预报切换；原液供应泵体一用一备；管道压力检测搅拌罐一用一备，泵体一用一备；简洁系统，并支持多种语言；触屏可显示各颗阀的工作状态及管路供液状态；系统各部分运行状态的预警及警报；多重安全性的自检与确认；自动切断供液；供液压力过高，紧急切断；支持多种信号输入；装备紧急按钮。
优点：多级密码保护;持续监控多种重要数据;根据监控数据自动作出安全处理
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于湿化学品介质机械研磨CMP制程工艺供应。
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