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水洗式尾气处理设备
所属分类：
2.1 产品概述
产品用途：水洗式尾气处理设备(Wet SCRUBBER)是一个专门处理现场各种制程废气的系统，在水溶解的过程中，将制程所产生的废气，反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，所处理的废气，包含大部份半导体厂所使用的特殊气体，维修保养的频率少且时间短，不会影响生产的时程。
产品功能和原理：在水溶解的过程中，将制程所产生的废气，反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，产生的副产品如颗粒等通过收集系统收集。
优点：处理的气体包括：NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。 整机设计美观，安全标准，拥有处理量大、效率高、及长时间运转，操作容易上手，保养简单快速、零部件经久耐用
产品应用：MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备，应用于半导体行业、太阳能电池行业制程中产生的废气。
- 产品描述
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2.1 产品概述
产品用途：水洗式尾气处理设备(Wet SCRUBBER)是一个专门处理现场各种制程废气的系统，在水溶解的过程中，将制程所产生的废气，反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，所处理的废气，包含大部份半导体厂所使用的特殊气体，维修保养的频率少且时间短，不会影响生产的时程。
产品功能和原理：在水溶解的过程中，将制程所产生的废气，反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，产生的副产品如颗粒等通过收集系统收集。
优点：处理的气体包括：NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。 整机设计美观，安全标准，拥有处理量大、效率高、及长时间运转，操作容易上手，保养简单快速、零部件经久耐用
产品应用：MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备，应用于半导体行业、太阳能电池行业制程中产生的废气。
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