PRODUCTS
干式吸附
特气通过与吸附剂的化学反应安全的处理废气 ，在这个过程中 ，特殊气体（特气）与吸附剂接触 ，通过化学反应将废气中的有害成分转化为无害的物质或者固定在吸附剂表面 ，处理效率达99.9%。具有运营成本低 ，易维护操作稳定 ，不产生废水，自动备份吸附桶等优点。
关键词：干式吸附
所属分类：
应用工艺：IMP/CVD/ALD厂务等
处理量：100L/200L/400L/800L
处理气体：BF3,PH3,ASH3等
处理效率：气体处理效率达99.5%NF3效率99.9%
参数规格：
|
内容 |
描述 |
|
|
需求规格 |
||
|
型号 |
YYKJ-100S/200S/200D |
|
|
电源 |
额定功率 |
220VAC,3ф, 50/60Hz |
|
实际功率 |
||
|
外形尺寸 |
1,600(W) x600(D)x 2,000(H)mm (柜顶底座) |
|
|
进气口 |
4/6/8个进气口 |
|
|
N2 |
进气口吹扫(Hot N2) |
200~300MAX LPM (4~5 kg/cm2) 25~30LPM x 8Port |
|
排气 |
酸排 |
-80 ~ -100mmH2O |
|
热排 |
-20 mmH2O |
|
- 产品描述
-
应用工艺：IMP/CVD/ALD厂务等
处理量：100L/200L/400L/800L
处理气体：BF3,PH3,ASH3等
处理效率：气体处理效率达99.5%NF3效率99.9%
参数规格：
内容
描述
需求规格
型号
YYKJ-100S/200S/200D
电源
额定功率
220VAC,3ф, 50/60Hz
实际功率
外形尺寸
1,600(W) x600(D)x 2,000(H)mm
(柜顶底座)
进气口
4/6/8个进气口
N2
进气口吹扫(Hot N2)
200~300MAX LPM (4~5 kg/cm2)
25~30LPM x 8Port
排气
酸排
-80 ~ -100mmH2O
热排
-20 mmH2O
Related Products
相关产品
CONTACT US
在线留言
如果您有任何建议，请留言或发邮件给我们，我们会在收到留言邮件后尽快给您回复。
