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水洗式
水洗式尾气处理器利用水吸收处理尾气的方式 ，对半导体工艺制程中产生的尾气进行处理 ，达到国家排放标准后进行排放。同时 ，对于部分气体还可以进行回收处理 ，如 NH3，HCL 等。
关键词：水洗式
所属分类：
应用工艺：LPCVD/PECVD/MOCVD/ETCH/EPI
处理量：600SLM/1500SLM
处理气体：CL2,BCL3,NH3等
处理效率：气体处理效率达99%
参数规格：
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内容 |
描述 |
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需求规格 |
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型号 |
YYKJ-500W |
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电源 |
额定功率 |
208/380VAC,3ф, 50/60Hz |
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实际功率 |
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外形尺寸 |
830(W) x730(D)x 1800(H)mm(柜顶底座) |
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进气口 |
4个进气口 |
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CW |
5~10 LPM (3~5 kg/cm2) |
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N2 |
进气口吹扫(Hot N2) |
200 ~300MAX LPM (4 ~5 kg/cm2)25 ~30LPM x 8Port |
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排水 |
泵排 |
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排气 |
酸排 |
-80 ~ -100mmH2O |
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热排 |
-20 mmH2O |
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- 产品描述
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应用工艺：LPCVD/PECVD/MOCVD/ETCH/EPI
处理量：600SLM/1500SLM
处理气体：CL2,BCL3,NH3等
处理效率：气体处理效率达99%
参数规格：
内容
描述
需求规格
型号
YYKJ-500W
电源
额定功率
208/380VAC,3ф, 50/60Hz
实际功率
外形尺寸
830(W) x730(D)x 1800(H)mm(柜顶底座)
进气口
4个进气口
CW
5~10 LPM (3~5 kg/cm2)
N2
进气口吹扫(Hot N2)
200 ~300MAX LPM (4 ~5 kg/cm2)25 ~30LPM x 8Port
排水
泵排
排气
酸排
-80 ~ -100mmH2O
热排
-20 mmH2O
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