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等离子水洗
所属分类：
应用工艺： ETCH/VCD/MOCVD/光伏/厂务等
处理量： 500SLM/1500SLM/3000SLM
处理气体：SF6/CF4/CHF3/H2/PH3等
处理效率： 气体处理效率达99%,NF3效率98%
参数规格：
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内容 |
描述 |
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|
需求规格 |
连接规格 |
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|
型号 |
YYKJ-1500PW |
NA |
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电源 |
额定功率 |
208/380VAC,3ф, 50/60Hz |
25kW |
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|
实际功率 |
一般模式: 13kW, 等离子体 7 ~9kw |
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外形尺寸 |
1,440(W) x1,300( D)x 2,000(H)mm (柜顶底座) |
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进气口 |
6 个进气口 |
NW50 KF FLANGE |
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PCW |
15 ~20LPM (3 ~ 5 kg/cm2) |
In & Out : 1/2”, Swagelok |
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|
CDA |
1’st 气体法兰 100 ~200LPM(Max) |
300 ~600LPM (4 ~6 kg/cm2) |
3/4 ”, Swagelok |
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|
2 ’ nd 燃烧腔 100 ~200LPM( Max) |
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气帘 100 ~200LPM(Max) |
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|
CW |
10 ~20 LPM (3 ~5 kg/cm2) |
1/2”, Swagelok |
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N2 |
等离子体火炬 |
60 ~80MAX LPM (4 ~ 5 kg/cm2) |
1/2”, Swagelok |
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进气口吹扫(Hot N2) |
200 ~300MAX LPM (4 ~ 5 kg/cm2) 25 ~30LPM x 8Port |
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|
排水 |
泵排 |
25A PVC |
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|
排气 |
酸排 |
-80 ~ -100mmH2O |
MF 100FLANGE |
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|
热排 |
-20 mmH2O |
。 100 PIPE |
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- 产品描述
-
应用工艺： ETCH/VCD/MOCVD/光伏/厂务等
处理量： 500SLM/1500SLM/3000SLM
处理气体：SF6/CF4/CHF3/H2/PH3等
处理效率： 气体处理效率达99%,NF3效率98%
参数规格：
内容
描述
需求规格
连接规格
型号
YYKJ-1500PW
NA
电源
额定功率
208/380VAC,3ф, 50/60Hz
25kW
实际功率
一般模式: 13kW, 等离子体 7 ~9kw
外形尺寸
1,440(W) x1,300( D)x 2,000(H)mm (柜顶底座)
进气口
6 个进气口
NW50 KF FLANGE
PCW
15 ~20LPM (3 ~ 5 kg/cm2)
In & Out : 1/2”, Swagelok
CDA
1’st 气体法兰 100 ~200LPM(Max)
300 ~600LPM (4 ~6 kg/cm2)
3/4 ”, Swagelok
2 ’ nd 燃烧腔 100 ~200LPM( Max)
气帘 100 ~200LPM(Max)
CW
10 ~20 LPM (3 ~5 kg/cm2)
1/2”, Swagelok
N2
等离子体火炬
60 ~80MAX LPM (4 ~ 5 kg/cm2)
1/2”, Swagelok
进气口吹扫(Hot N2)
200 ~300MAX LPM (4 ~ 5 kg/cm2) 25 ~30LPM x 8Port
排水
泵排
25A PVC
排气
酸排
-80 ~ -100mmH2O
MF 100FLANGE
热排
-20 mmH2O
。 100 PIPE
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