加热水洗

电加热式尾气处理设备通过间接燃烧加热棒或加热带产生800℃以上的高温处理易燃、有毒和PFCs气体，特气在高温中和氧气进行化学反应，再经过水箱和冷却塔中水洗处理及过滤，最终产物由酸碱废水和排风排出，对于易燃易爆气体，有毒和水溶性气体，处理效果出色，处理效率达99%。具有结构简单，操作简单，维护方便，处理容量较大，维护便捷等优点。

关键词：加热水洗

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所属分类：

尾气处理设备

应用工艺：CVD/ALD厂务等

处理量：500L/70OL/1500L

处理气体：SiH4,SiHCl3,HCL,DCS，TEOS，TMA等

处理效率：气体处理效率达99%

参数规格：

内容		描述
		需求规格
型号		YYKJ-1500HW
电源	额定功率	208/ 380VAC, 3 ф, 50/60Hz
	实际功率
外形尺寸		1,440(W) x800( D)x 2, 100( H) mm(柜顶底座)
进气口		4个进气口
CDA		1 ’st 气体法兰 100 ~ 200LPM( Max)	300 ~ 600LPM (4 ~ 6 kg/cm2)
		2 ’nd 燃烧腔 100 ~ 200LPM( Max)
		气帘 100 ~ 200LPM( Max)
CW		10 ~ 20 LPM ( 3 ~ 5 kg/cm2)
N2	进气口吹扫(Hot N2)	200 ~ 300MAX LPM (4 ~ 5 kg/cm2) 25 ~ 30LPM x 8Port
排水		泵排
排气	酸排	-80 ~ -100mmH2O
	热排	-20 mmH2O