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Bubbler 鼓泡柜
应用领域：鼓泡柜通过氢气当载气，配置chiller，使液态的含硅化合物气化，为工艺主机台提供气态的含硅化合物
关键词：Bubbler 鼓泡柜
所属分类：
应用领域：鼓泡柜通过氢气当载气，配置chiller，使液态的含硅化合物气化，为工艺主机台提供气态的含硅化合物
工艺应用：液态源不间断输送，载气辅助输送
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业
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参数名称 |
详细规格 |
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供应类型： |
单瓶，双瓶 |
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盘面尺寸： |
1/4”，1/2” |
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介质名称： |
TCS |
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基础功能： |
自动吹扫，自动抽真空，自动关断，触摸屏操作 |
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通用性选配功能： |
鼓泡器，水浴加热，CHILLER |
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介质性选配功能： |
电子称，钢瓶加热，盘面加热 |
- 产品描述
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应用领域：鼓泡柜通过氢气当载气，配置chiller，使液态的含硅化合物气化，为工艺主机台提供气态的含硅化合物
工艺应用：液态源不间断输送，载气辅助输送
客户类型：半导体芯片制造， 平板显示行业， 太阳能电池， 电子元器件制造等行业
参数名称
详细规格
供应类型：
单瓶，双瓶
盘面尺寸：
1/4”，1/2”
介质名称：
TCS
基础功能：
自动吹扫，自动抽真空，自动关断，触摸屏操作
通用性选配功能：
鼓泡器，水浴加热，CHILLER
介质性选配功能：
电子称，钢瓶加热，盘面加热
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