全自动气体输送柜（GC）

全自动气体输送柜(以下简称全自动气柜，英文简称 GC)是全封闭式的工艺气体气源端的输送设备，用来将钢瓶中的高纯特气输送到后端的气体分配单元，为全自动控制，并且能实现不间断供气。

关键词：全自动气体输送柜（GC）

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特气设备

　　1.1 产品概述

　　产品用途：全自动气体输送柜(以下简称全自动气柜，英文简称 GC)是全封闭式的工艺气体气源端的输送设备，用来将钢瓶中的高纯特气输送到后端的气体分配单元，为全自动控制，并且能实现不间断供气。

　　产品功能和原理：全自动气柜主要由工艺阀门盘面、PLC 控制系统、机柜、安全附件四部分组成，为全封闭式结构，气柜内安装两个供气钢瓶，一用一备。工艺阀门盘面中的阀门元件可以调节气源的压力和流量;PLC 控制系统用于控制设备的自动运行和安全监控，可以实现气柜的全自动运行和自动切换供气钢瓶;机柜为全密封设计，可以防止气柜内的有害气体扩散到外部环境中，起到防护作用;根据输送的气体特性，设备内部配置有火焰探测器、高温传感器等安全附件，当设备内出现异常或故障时设备发出报警信号或自动停气，可以保证设备和环境的安全。

　　优点：全自动气柜以彩色触摸屏为交互界面，操作方便，易于维护，设备顶部配有报警灯，便于巡检人员观察设备运行状态。设备配置有远程监控接口，可以在厂务监控平台中显示设备运行状态，剩余气量等关键参数，并且可以远程关断操作。

　　产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于输送有毒，易燃可燃，腐蚀性，氧化性高纯气体。