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气体输送架（GR）
所属分类：
2.1 产品概述
产品用途：气体输送架(以下简称气架，英文简称GR)是敞开式的工艺气体气源端的输送设备，用来将钢瓶中的高纯惰性气体输送到后端的气体分配单元，根据需要有半自动控制和手动操作两种，半自动控制系列 可以实现不间断供气。
产品功能和原理：气架主要由工艺阀门盘面、PLC 控制系统(仅半自动控制系列)、机架三部分组成。根据 工况选用单瓶供应或者双瓶供应，双瓶供应时，气架内安装两个供气钢瓶，一用一备。工艺阀门盘面中的阀 门元件可以调节气源的压力和流量;半自动系列配有PLC 控制系统，可以监控设备运行状况和自动切换供气 钢瓶，吹扫和排气动作需要手动操作;手动系列全部动作均为人工操作，需要人工巡检观察钢瓶剩余气量和 手动切换供气钢瓶。
优点：半自助气架以彩色触摸屏为交互界面，操作方便，易于维护，设备顶部配有报警灯，便于巡检人员观察设备 运行状态。设备配置有远程监控接口，可以在厂务监控平台中显示设备运行状态，剩余气量等关键参数，并且可以远程关断操作。
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行 业，主要用于输送惰性高纯气体。
2.2 产品细分系列与配置
2.2.1 双瓶惰性气体气架(可选半自动操作或手动操作)
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系列名称 |
主要配置 |
适用工况 |
通用配置-半自动 |
通用配置-手动 |
通用参数 |
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（ 半自动/手动）双瓶- 独立 吹扫、高压系列 |
配置独立高压保压，吹扫功能的高压气架 |
适用于>600psi 的高压对环境和人体有害的惰性气体 |
触摸屏+PLC 控制；远程监控和紧急关断；三色报警灯； 钢瓶加热，盘面管路加热（根据气体特性选择配置）；钢瓶电子秤（根据气体特性择配置）；自动切换；配置出口扩展阀； 手动吹扫和排气。 |
钢瓶加热，盘面管路加热（根据气体特性选择配置）； 钢瓶电子秤（根据气体特性选择配置）；全手动操作； 配置出口扩展阀； |
电源：AC22V 50HZ（仅半自动）；设备尺寸：宽*高* 厚 =750*2050*600（半自动）；设备尺寸：宽*高*厚 =750*1755*600（手动）；阀门管件规格：1/4”，EP |
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（ 半自动/手动双瓶- 独立吹扫系列 |
配置独立吹扫功能，无高压保压的气架 |
适用于人体无害，但不能直接排放于环境的气体 |
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（ 半自动/手动）双瓶- 无吹扫系列 |
无独立吹扫功能，无高压保压的气架 |
适用于对环和人体完全无害的气体，如 He 等 |
2.2.2 吹扫气体气架(适用于系统吹扫用气体，如 Ar,PN2)
此系列气架仅提供手动操作型号。
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系列名称 |
主要配置 |
适用工况 |
通用配置 |
通用参数 |
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双瓶- 中低 压输出 |
配置 250psi 输出和150psi 输出两个出 口，双调压阀 |
适用于对低压有 害工艺系统吹扫 和高压保压用 |
手动切换，手 动排放
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设备尺寸：宽*高 * 厚 = 750*1755*600； 阀门管件规格： 1/4”，EP
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双瓶- 高低 压输出 |
配置钢瓶压力直接输出和 150psi 输出 两个出口，单调压阀 |
适用需要高压保 压和低压吹扫的 工艺系统 |
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双瓶- 单低 压输出 |
配置 150psi 输出一个出口，单调压阀 |
适用低压吹扫的 工艺系统 |
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单瓶- 高低 压输出 |
配置钢瓶压力直接输出和 150psi 输出 两个出口，单调压阀 |
适用需要高压保 压和低压吹扫的 工艺系统 |
手动排放
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设备尺寸：宽*高 * 厚 = 500*1755*600； 阀门管件规格： 1/4”，EP |
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单瓶- 单低 压输出 |
配置 150psi 输出一个出口，单调压阀 |
适用低压吹扫的 工艺系统 |
- 产品描述
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2.1 产品概述
产品用途：气体输送架(以下简称气架，英文简称GR)是敞开式的工艺气体气源端的输送设备，用来将钢瓶中的高纯惰性气体输送到后端的气体分配单元，根据需要有半自动控制和手动操作两种，半自动控制系列 可以实现不间断供气。
产品功能和原理：气架主要由工艺阀门盘面、PLC 控制系统(仅半自动控制系列)、机架三部分组成。根据 工况选用单瓶供应或者双瓶供应，双瓶供应时，气架内安装两个供气钢瓶，一用一备。工艺阀门盘面中的阀 门元件可以调节气源的压力和流量;半自动系列配有PLC 控制系统，可以监控设备运行状况和自动切换供气 钢瓶，吹扫和排气动作需要手动操作;手动系列全部动作均为人工操作，需要人工巡检观察钢瓶剩余气量和 手动切换供气钢瓶。
优点：半自助气架以彩色触摸屏为交互界面，操作方便，易于维护，设备顶部配有报警灯，便于巡检人员观察设备 运行状态。设备配置有远程监控接口，可以在厂务监控平台中显示设备运行状态，剩余气量等关键参数，并且可以远程关断操作。
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行 业，主要用于输送惰性高纯气体。
2.2 产品细分系列与配置
2.2.1 双瓶惰性气体气架(可选半自动操作或手动操作)
系列名称
主要配置
适用工况
通用配置-半自动
通用配置-手动
通用参数
（ 半自动/手动）双瓶- 独立 吹扫、高压系列
配置独立高压保压，吹扫功能的高压气架
适用于>600psi 的高压对环境和人体有害的惰性气体
触摸屏+PLC 控制；远程监控和紧急关断；三色报警灯；
钢瓶加热，盘面管路加热（根据气体特性选择配置）；钢瓶电子秤（根据气体特性择配置）；自动切换；配置出口扩展阀；
手动吹扫和排气。
钢瓶加热，盘面管路加热（根据气体特性选择配置）；
钢瓶电子秤（根据气体特性选择配置）；全手动操作；
配置出口扩展阀；
电源：AC22V 50HZ（仅半自动）；设备尺寸：宽*高* 厚 =750*2050*600（半自动）；设备尺寸：宽*高*厚 =750*1755*600（手动）；阀门管件规格：1/4”，EP
（ 半自动/手动双瓶- 独立吹扫系列
配置独立吹扫功能，无高压保压的气架
适用于人体无害，但不能直接排放于环境的气体
（ 半自动/手动）双瓶- 无吹扫系列
无独立吹扫功能，无高压保压的气架
适用于对环和人体完全无害的气体，如 He 等
2.2.2 吹扫气体气架(适用于系统吹扫用气体，如 Ar,PN2)
此系列气架仅提供手动操作型号。
系列名称
主要配置
适用工况
通用配置
通用参数
双瓶- 中低
压输出
配置 250psi 输出和150psi 输出两个出 口，双调压阀
适用于对低压有
害工艺系统吹扫 和高压保压用
手动切换，手
动排放
设备尺寸：宽*高
* 厚 = 750*1755*600；
阀门管件规格：
1/4”，EP
双瓶- 高低
压输出
配置钢瓶压力直接输出和 150psi 输出 两个出口，单调压阀
适用需要高压保
压和低压吹扫的 工艺系统
双瓶- 单低
压输出
配置 150psi 输出一个出口，单调压阀
适用低压吹扫的
工艺系统
单瓶- 高低
压输出
配置钢瓶压力直接输出和 150psi 输出 两个出口，单调压阀
适用需要高压保
压和低压吹扫的 工艺系统
手动排放
设备尺寸：宽*高
* 厚 = 500*1755*600；
阀门管件规格：
1/4”，EP
单瓶- 单低
压输出
配置 150psi 输出一个出口，单调压阀
适用低压吹扫的
工艺系统
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