阀门箱（VMB）

产品用途：阀门分配箱(以下简称阀门箱，英文简称 VMB)是全封闭式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台，根据需要有半自动控制和手动操作两种操作方式。

关键词：阀门箱（VMB）

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特气设备

　　3.1 产品概述

　　产品用途：阀门分配箱(以下简称阀门箱，英文简称 VMB)是全封闭式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台，根据需要有半自动控制和手动操作两种操作方式。

　　产品功能和原理：阀门箱主要由工艺阀门盘面、PLC 控制系统(仅半自动控制系列)、机柜、安全附件四部分组成。工艺阀门盘面可以调节气体的压力和控制各支路气体的通断；半自动系列配有PLC控制系统，可以通过按钮控制支路阀门开关；机柜为全密封设计，可以防止阀门箱内的有害气体扩散到外部环境中，起到防护作用；根据输送的气体特性，设备内部配置有火焰探测器、高温传感器等安全附件，当设备内出现异常或故障时设备发出报警信号或自动停气(仅半自助操作系列)，可以保证设备和环境的安全。

　　产品优点：半自动系列以按钮操作控制阀门的通断，设备配置有远程监控接口，通过与上位机连接，可以远程监视和控制支路的通断，吹扫和排气动作需要手动操作；手动系列全部动作均为人工操作。

　　产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于输送有毒，易燃可燃，腐蚀性，氧化性高纯气体。

　　3.2 产品细分系列与配置

系列名称	主要配置	适用工况	通用配置-半自动	通用配置-手动	通用参数
(半自动/手动)带真空排气,支路过滤系列	配置真空排气支路,配置支路过滤器	适用于腐蚀性,毒性,自燃性气体,前后端系统无过滤器的工况	按钮+PLC控制; 远程监控和紧急关断; 三色报警灯; 自动控制支路开关; 手动吹扫和真空排气(根据具体配置); 配置主路扩展阀;配置支路调压阀。	全手动操作; 配置主路扩展阀; 配置支路调压阀。	电源:AC22V50HZ (仅半自动); 设备尺寸:视详细型号确定; 阀门管件规格:尺寸规格视详细型号确定,EP。
(半自动/手动)带真空排气,无支路过滤系列	配置真空排气支路,无支路过滤器	适用于腐蚀性,毒性,自燃性气体,前后端系统有滤器的工况
(半自动/手动)无真空排气,带支路过滤系列	无真空排气支路,配置支路过滤器	适用于非毒性,腐蚀性,自燃性等非高危气体, 前后端系统无过滤器的工况
(半自动/手动)无真空排气,无支路过滤系列	无真空排气支路,无支路过滤器	适用于非毒性,腐蚀性,自燃性等非高危气体, 前后端系统有过滤器的工况