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阀门盘（VMP）
所属分类：
4.1 产品概述
产品用途：阀门分配盘(以下简称阀门盘，英文简称 VMP)是敞开式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台。
产品功能和原理：阀门盘结构简单，仅由工艺阀门管件和不锈钢底板组成。工艺阀门盘面可以调节气体的压力和控制各支路气体的通断，一般情况下，全部为手动操作。
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于输送惰性高纯气体。
4.2 产品细分系列与配置
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系列名称 |
主要配置 |
适用工况 |
通用配置 |
通用参数 |
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手动支路带过滤系列 |
配置支路过滤器 | 适用于惰性气体，前后端系统无过滤器的工况 |
全手动操作；配置主路扩展阀；配置支路调压阀。 |
设备尺寸：视详细型号确定; 阀门管件规格： 尺寸规格视详细型号确定， EP。 |
| 手动支路无过滤系列 | 无支路过滤器 | 适用于惰性气体，前后端系统有过滤器的工况 |
- 产品描述
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4.1 产品概述
产品用途：阀门分配盘(以下简称阀门盘，英文简称 VMP)是敞开式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台。
产品功能和原理：阀门盘结构简单，仅由工艺阀门管件和不锈钢底板组成。工艺阀门盘面可以调节气体的压力和控制各支路气体的通断，一般情况下，全部为手动操作。
产品应用：产品广泛应用于半导体芯片制造，平板显示行业，LED 行业，太阳能电池，电子元器件制造等行业，主要用于输送惰性高纯气体。
4.2 产品细分系列与配置
系列名称
主要配置
适用工况
通用配置
通用参数
手动支路带过滤系列
配置支路过滤器 适用于惰性气体，前后端系统无过滤器的工况 全手动操作；配置主路扩展阀；配置支路调压阀。
设备尺寸：视详细型号确定; 阀门管件规格： 尺寸规格视详细型号确定， EP。
手动支路无过滤系列 无支路过滤器 适用于惰性气体，前后端系统有过滤器的工况
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