吸附式尾气处理设备

吸附式尾气处理设备

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吸附式尾气处理设备

产品功能和原理：根据所需处理的介质性质的不同，选取不同的干式药剂，利用药剂与需处理的介质之间的酸碱中和反应、复分解反应等基本原理，生成稳定的无毒无害的化合物或复合物，这些化合物或复合物可再次利用于道路维修、固废填埋，不产生二次污染。

酸碱/有机VMB

酸碱/有机VMB

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酸碱/有机VMB

产品用途：适用于酸碱类供液系统和有机试剂类供液系统；2分支(Sticks)~8分支工艺管线，根据用户要求特殊定制；依操作方式可分为三种控制方式：自动/手动；PP+PVC外壳+PFA管路；配备漏液报警Sensor、负压表等；主管带扩充阀/分支扩充阀，视需求可供未来扩充；VMB电控部分可与厂务中控系统衔接。

CCB

CCB

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CCB

产品用途：适用于较大化学品输送系统供应罐的充装；2分支(Sticks)~6分支工艺管线；用于连接槽车与化学品输送系统连接；充装方式氮压；PP+PVC外壳+PFA管路；配备漏液报警Sensor、负压表等；根据用户要求特殊定制。

Slurry混酸系统供应柜

Slurry混酸系统供应柜

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Slurry混酸系统供应柜

产品用途：适用于湿化学品介质机械研磨CMP制程工艺供应设备；PP+PVC外壳+PFA管路；完整的系统解决方案;集成PLC和模块化控制系统；原液Supply单元+Mix混合单元；可根据用户要求特殊定制；搅拌前后取样

TMAH2.38稀释系统供应柜

TMAH2.38稀释系统供应柜

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TMAH2.38稀释系统供应柜

产品用途：适用于湿化学品介质稀释系统(TMAH2.38%)，将原液25%原液稀释混配至2.38%一号标准液；PP+PVC外壳+PFA管路；完整的系统解决方案；集成PLC和模块化控制系统；原液Supply单元+Mix混合单元+稀释Supply单元。

200L/100L酸碱化学品输送柜（CDM）

200L/100L酸碱化学品输送柜（CDM）

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200L/100L酸碱化学品输送柜（CDM）

产品用途：全自动化学品供酸柜(以下简称全自动化学品柜，英文简称(CDM)是全封闭式的化学品输送设备，适用于湿化学品介质输送，用来容器中的化学品输送到后端的分配单元，为全自动控制，并且能实现不间断供应。

阀门盘（VMP）

阀门盘（VMP）

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阀门盘（VMP）

产品用途：阀门分配盘(以下简称阀门盘，英文简称 VMP)是敞开式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台。

阀门箱（VMB）

阀门箱（VMB）

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阀门箱（VMB）

产品用途：阀门分配箱(以下简称阀门箱，英文简称 VMB)是全封闭式的工艺气体分配单元，用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台，根据需要有半自动控制和手动操作两种操作方式。

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