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VMB 阀门分流箱
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应用领域:主要应用于腐蚀性,毒性,可燃性,自燃性气体的分流输送。
VMP 阀门分流盘
应用领域:主要应用于惰性气体的分流输送。
VMB分配盘
阀门盘(VMP)
产品用途:阀门分配盘(以下简称阀门盘,英文简称 VMP)是敞开式的工艺气体分配单元,用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台。
阀门箱(VMB)
产品用途:阀门分配箱(以下简称阀门箱,英文简称 VMB)是全封闭式的工艺气体分配单元,用来二次调节工艺气体的压力和分配工艺气体到工艺机台,根据需要有半自动控制和手动操作两种操作方式。
气体输送架(GR)
气体输送架(以下简称气架,英文简称GR)是敞开式的工艺气体气源端的输送设备,用来将钢瓶中的高纯惰性气体输送到后端的气体分配单元,根据需要有半自动控制和手动操作两种,半自动控制系列 可以实现不间断供气。
全自动气体输送柜(GC)
全自动气体输送柜(以下简称全自动气柜,英文简称 GC)是全封闭式的工艺气体气源端的输送设备,用来将钢瓶中的高纯特气输送到后端的气体分配单元,为全自动控制,并且能实现不间断供气。
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