等离子水洗

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等离子水洗

独特的低功率等离子技术 ，对 PFC 气体（如 CF4）和其他温 室气体（如 SF6、NF3 和 N2O）具有很高的破坏率效率 (DRE)。 这使得 Proteus 成为减少半导体制程温室气体的经济高效的解 决方案之一

水洗式

水洗式

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水洗式

水洗式尾气处理器利用水吸收处理尾气的方式 ，对半导体工艺制程中产生的尾气进行处理 ，达到国家排放标准后进行排放。同时 ，对于部分气体还可以进行回收处理 ，如 NH3，HCL 等。

加热水洗

加热水洗

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加热水洗

电加热式尾气处理设备通过间接燃烧加热棒或加热带产生800℃以上的高温处理易燃、有毒和PFCs气体 ，特气在高温中和氧气进行化学反应 ，再经过水箱和冷却塔中水洗处理及过滤 ，最终产物由酸碱废水和排风排出 ，对于易燃易爆气体 ，有毒和水溶性气体 ，处理效果出色 ，处理效率达99%。 具有结构简单 ，操作简单 ，维护方便 ，处理容量较大 ，维护便捷等优点。

干式吸附

干式吸附

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干式吸附

特气通过与吸附剂的化学反应安全的处理废气 ，在这个过程中 ，特殊气体（特气）与吸附剂接触 ，通过化学反应将废气中的有害成分转化为无害的物质或者固定在吸附剂表面 ，处理效率达99.9%。具有运营成本低 ，易维护操作稳定 ，不产生废水，自动备份吸附桶等优点。

尾气处理

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尾气处理

VMB分配盘

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PLC控制箱

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PLC控制箱

水洗式尾气处理设备

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水洗式尾气处理设备

产品用途：水洗式尾气处理设备(Wet SCRUBBER)是一个专门处理现场各种制程废气的系统，在水溶解的过程中，将制程所产生的废气，反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，所处理的废气，包含大部份半导体厂所使用的特殊气体，维修保养的频率少且时间短，不会影响生产的时程。

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